Виды
Классифицируются по разным критериям:
- принципу действия
- конструктивному решению
- назначению
- типу вакуума.
По физическому принципу работы делятся на две группы: газосвязывающие (сорбционные) и газопереносные:
- Сорбционные захватывают из рабочего объёма молекулы газов различными поглощающими веществами. К их числу относятся такие агрегаты, как криогенные, адсорбционные и геттерные
- Газопереносные работают по принципу физического удаления газовых частиц из откачиваемого пространства. Они разделяются на струйные и механические. Механические включают в себя наиболее многочисленное семейство объёмных модификаций, а также молекулярные агрегаты.
Краткая характеристика основных конструкций
- Молекулярные: устройства для создания глубокого вакуума, они перемещают молекулы газа, придавая им скорость в направлении откачки поверхностью быстровращающегося ротора
- Объёмные: создают разрежение посредством периодического увеличения объёма остаточного газа с последующим выхлопом захваченной части наружу. По устройству механизмов делятся на обратно-поступательные и вращательные (в том числе масляные):
- Обратно-поступательные (поршневые): работают по схеме циклического объёмного вытеснения с помощью поршневого механизма. Имеют наиболее простую конструкцию и высокую надёжность, неприхотливы в эксплуатации. Используются для понижения давления до 0,05—0,02 атм. «Мокрые» поршневые агрегаты приспособлены для откачки паров и газопаровых сред
- Вращательные: процесс всасывания газа, его сжатия и выброса происходит в объёме, изменяемом при помощи вращательного движения. Основные типы: со скользящими пластинами и с жидкостным поршнем. Первые эффективны для откачки из ёмкостей большого объёма, вторые незаменимы для работы со средой со специфическими свойствами: легковоспламеняющейся, легкоразлагающейся, химически агрессивной, с повышенным содержанием влаги и др.
- Вращательные масляные: обладают высокой производительностью за счёт повышенного уплотнения зазоров маслом. Они применимы для создания вакуума в большой ёмкости или при необходимости быстрой откачки малых объёмов. Устройства этой конструкции служат также первой (форвакуумной) ступенью вакуумного агрегата. Предельное разрежение – от 0,5 до 0,001 мм рт. ст. В большинстве моделей имеется специальное газобалластное устройство для устранения возможности конденсации паров из откачиваемой среды. При этом повышается уровень предельного давления, достижимого насосом
- Пароэжекторные: откачиваемый газ увлекается турбулентной струей пара. Не содержат движущихся механических деталей. Поэтому они более долговечны, производительны и могут откачивать газы с взвешенными жидкими и твёрдыми включениями
- Водоструйные: захват воздуха осуществляется струёй воды. Целесообразны к использованию в сферах производства с интенсивным применением водонапорных технологий – в горных и земляных работах с гидромеханизацией, на водопроводных, канализационных и очистных станциях и сооружениях
- Ионные: относятся к классу сорбционных. Связывание частиц газа происходит за счёт их ионизации с последующим захватом на заряженной поверхности
- Криогенные: уменьшают количество газовых частиц путём перевода среды из газообразного состояния в жидкое или твёрдое состояние под действием сверхнизких температур. Позволяют достигать самого глубокого вакуума.
Они способны создавать давления от 105 до 10−12 Па.
По уровню достижимого вакуума они делятся на:
- низковакуумные (105-102 Па)
- средневакуумные (102-10-1 Па)
- высоковакуумные (10-1-10-5 Па)
- сверхвысоковакуумные насосы (10-5 Па и ниже).